in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)-公開招標公告
發(fā)布時間：2025-11-06 22:35:33 打印
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1. 招標條件
本招標項目in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)招標人為中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所，招標項目資金已落實。該項目已具備招標條件，現(xiàn)對in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)進行國內(nèi)公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250341A054
2.2 招標項目名稱：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)主要應(yīng)用于量子傳感、硅光等芯片的微納結(jié)構(gòu)制造過程中的光刻工藝，通過和深紫外光刻機在線聯(lián)機，完成光刻膠旋涂合烘烤后，將晶圓直接傳送到光刻機進行曝光，再傳送回該系統(tǒng)完成顯影，達到最終將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印至光刻膠上的目的。
系統(tǒng)組成：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)主要由上下料單元、傳輸單元和涂膠顯影單元等組成。
2.5 交貨地點：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2.6 交貨期：合同簽訂后6個月內(nèi)到貨。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標不接受聯(lián)合體投標。
3.3 本次招標接受代理商投標。一個制造商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權(quán)書（原件）。
3.4 財務(wù)要求：投標人應(yīng)附2024年經(jīng)會計師事務(wù)所或?qū)徲嫏C構(gòu)審計的財務(wù)會計報表，包括審計報告正文、資產(chǎn)負債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財務(wù)報表。投標人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計的或單位內(nèi)審的2024年財務(wù)報表。
3.5 業(yè)績要求：投標廠商2022年至今有交付的in-line深紫外涂膠顯影類設(shè)備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復印件、合同復印件對應(yīng)的發(fā)票復印件或驗收報告或收款證明等項文件；
3.6 信譽要求：投標人在經(jīng)營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結(jié)果）或信譽承諾書。
3.7 投標人必須向招標代理機構(gòu)購買招標文件并進行登記才具有投標資格。
4. 招標文件的獲取
4.1凡有意參加投標者，請于2025年11月6日至2025年11月13日17時(北京時間)，登錄中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電中航工業(yè)電子采購平臺服務(wù)熱線400-890-0880。
4.2 招標文件售賣
每套招標文件售價人民幣 800 元整，售后款項不予退還。潛在投標人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動發(fā)送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標人(代理機構(gòu))確認后，才能獲得招標文件的下載權(quán)限。
4.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。
5. 投標文件的遞交
5.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2025年11月28日9時00分（北京時間），投標人應(yīng)在截止時間前通過中航工業(yè)電子采購平臺（www.eavic.com）上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。
5.2逾期送達的投標文件，電子招標投標交易平臺將予以拒收。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標公告同時在中招聯(lián)合招標采購平臺和中國招標投標公共服務(wù)平臺和中航工業(yè)電子采購平臺上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標人：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標代理機構(gòu)：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
郵編： 100039
聯(lián)系人：郗女士
電話：029-89249895
項目負責人：王瑋
電話：029-89248691、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
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