超高真空全自動(dòng)常溫鍵合機(jī)-公開(kāi)招標(biāo)公告
發(fā)布時(shí)間：2025-11-06 22:40:49 打印
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超高真空全自動(dòng)常溫鍵合機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司（招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)。
1. 招標(biāo)范圍
1.1 貨物名稱：超高真空全自動(dòng)常溫鍵合機(jī)
1.2 招標(biāo)編號(hào)：0779-25400341A049
1.3項(xiàng)目概況：
超高真空全自動(dòng)常溫鍵合機(jī)用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級(jí)密封封裝工藝，在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓，除去表面氧化膜及污染物，再施加一定壓力，使兩個(gè)表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸，形成化學(xué)鍵，實(shí)現(xiàn)原子尺度上的牢固結(jié)合，在室溫下實(shí)現(xiàn)良好的鍵合，無(wú)需后續(xù)退火，消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應(yīng)力問(wèn)題；更多指標(biāo)詳見(jiàn)第八章技術(shù)規(guī)格。
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)：
適用于6英寸晶圓，并可擴(kuò)展至8英寸；
Mark鍵合對(duì)準(zhǔn)精度：≤±2μm；
鍵合模塊壓力：最大100kN；
更多技術(shù)指標(biāo)詳見(jiàn)第八章。
1.4 數(shù)量：1臺(tái)。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個(gè)月內(nèi)交貨。
1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求
2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。
2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開(kāi)具的；或制造商的獨(dú)資公司開(kāi)具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說(shuō)明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。
3. 招標(biāo)文件獲取
3.1凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2025年11月6日至2025年10月14日17時(shí)(北京時(shí)間)，登錄中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)（www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標(biāo)文件,現(xiàn)場(chǎng)不予受理。如有疑問(wèn)，請(qǐng)致電中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)服務(wù)熱線400-890-0880。
3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過(guò)本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請(qǐng)自行提交電子發(fā)票申請(qǐng)(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開(kāi)票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā)送至申請(qǐng)時(shí)所填郵箱。潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺(tái)，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。
3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)注冊(cè)，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無(wú)法投標(biāo)。（詳見(jiàn)中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)相關(guān)說(shuō)明）。
4. 投標(biāo)文件的遞交
4.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2025年11月27日9時(shí)00分（北京時(shí)間），投標(biāo)人應(yīng)在截止時(shí)間前通過(guò)中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)（www.eavic.com）上傳加密的電子版投標(biāo)文件，并在此時(shí)間前遞交單獨(dú)密封的紙質(zhì)版投標(biāo)文件至陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)一路19號(hào)西安亞丁灣羽安酒店會(huì)議室。
4.2逾期送達(dá)的投標(biāo)文件，中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)將予以拒收。
4.3投標(biāo)人未按要求上傳加密電子版投標(biāo)文件，或平臺(tái)軟件無(wú)法獲取、解密投標(biāo)人上傳的電子版投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。
5. 開(kāi)標(biāo)
開(kāi)標(biāo)時(shí)間同投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間，開(kāi)標(biāo)地點(diǎn)同投標(biāo)文件遞交地點(diǎn)。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時(shí)在中航工業(yè)電子采購(gòu)平臺(tái)、中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)、中國(guó)招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)和中招聯(lián)合招標(biāo)采購(gòu)平臺(tái)上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標(biāo)人名稱：中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所
地址：陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路129號(hào)
聯(lián)系人：任經(jīng)理
電話：029-61886363
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓
郵編： 100039
聯(lián)系人：郗女士
電話： 029-89249895
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋
電話：029-89249161、029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
2025年11月6日
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