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一、采購人：松山湖材料實驗室

二、采購項目編號：441900-201903-0099990033-0010

三、采購項目名稱：碳化硅外延生長設(shè)備

四、采購項目預(yù)算金額（元）：15,000,000.00元

五、擬采購的貨物或者服務(wù)的說明

一、碳化硅外延生長設(shè)備的技術(shù)要求 1.★單片外延生長爐 2.反應(yīng)室：圓形反應(yīng)腔室 3.★晶圓尺寸：6英寸兼容4英寸 4.★外延層生長要求：1、具有1次生長100μm厚度的SiC外延生長能力。2、高速生長速率≥60μm/小時, 標(biāo)準(zhǔn)生長率≥30μm/小時。3、背景摻雜濃度≤1E14cm-3。4、n型摻雜濃度：從1E15～1E19 cm-3可控。5、6英寸片內(nèi)厚度均勻性小于1%，濃度均勻性小于7%（均勻性=δ/均值*100%, 33點, 距邊5mm，濃度在5E15cm-3左右）。6、表面缺陷：≤1/㎝2（厚度0～50μm）；≤1.5/㎝2（厚度51～100μm）。7、表面粗糙度: ≤0.3nm（厚度≤30μm）；≤0.5nm（厚度31～50μm）；≤0.8nm（厚度51～100μm）。表面粗糙度測試范圍：10×10 μm。 5.整體結(jié)構(gòu)：主體設(shè)備為分體式結(jié)構(gòu)，傳送腔室和反應(yīng)腔室可以實現(xiàn)自動分離和閉合功能 6.傳送系統(tǒng)：人工把晶片放入設(shè)備中，機械手根據(jù)指令取片至生長室，生長結(jié)束后放回。 7.冷卻腔室：備有晶圓冷卻腔室功能 8.工作環(huán)境：溫度25±5℃，濕度<60%，超凈室等級:1000級 9.設(shè)備電源：三相380V，或單相220V(以廠家實際為準(zhǔn))，50/60Hz； 10.中頻電源額定功率：400/480V ±5% 3PH 50/60Hz 100KVA, 160A 11.加熱感應(yīng)線圈：環(huán)形感應(yīng)線圈外置 12.★平均無故障工作時間MTBF≥200小時 13.★驗收條件： 1、4寸和6英寸SiC襯底，分別按標(biāo)準(zhǔn)生長率≥30μm/小時進行3次生長實驗，按高速生長速率≥60μm/小時進行3次生長實驗（厚度達100um），廠家指定驗收用的SiC襯底。 2、采用上述4寸和6寸襯底，分別進行6次生長實驗均能滿足技術(shù)要求第4條外延層生長要求規(guī)定的指標(biāo)。 14.★如投標(biāo)人為代理商或經(jīng)銷商，必須提供所投設(shè)備制造商出具的合法代理或經(jīng)銷授權(quán)證明復(fù)印件加蓋公章。二、商務(wù)要求 1. ★交貨期：合同簽訂后180天內(nèi)到松山湖材料實驗室。 2. ★付款方式：合同簽訂及中標(biāo)人遞交設(shè)備清單后7天內(nèi)支付40%；發(fā)貨前30天內(nèi)支付25%；貨到深圳機場后憑單證支付25%；通過驗收后10天內(nèi)支付10%尾款。如果由于采購人的廠務(wù)原因拖延設(shè)備安裝進度而導(dǎo)致驗收推遲，按從設(shè)備到達松山湖材料實驗室之日起計算90天內(nèi)支付10%尾款，但中標(biāo)人仍保證調(diào)試設(shè)備通過驗收。 3. ★違約責(zé)任： 3.1如延遲交貨，除人力不可抗事故外，假設(shè)采購人已經(jīng)支付前期貨款, 中標(biāo)人應(yīng)在一周寬限期后, 付給采購人每一星期按遲交合同貨物總值的0.5％的遲交罰款，不足一星期的以一星期計算，此項罰款總額不超過全部遲交合同貨物總值的5％，在議付貨款時由銀行代為扣除，或由采購人付款時進行扣除。如延遲交貨超過原定期十周時，采購人有權(quán)終止合同。但中標(biāo)人仍應(yīng)向采購人繳付以上規(guī)定之罰款，不得推諉或延遲，并退還給采購人全部的前期貨款。 3.2采購人逾期付款的，每逾期一周，應(yīng)向中標(biāo)人支付合同金額0.5%的違約金，不足一周的以一周計算，此項罰款總額不超過合同總金額的5％。如延遲付款超過原定期十周時，中標(biāo)人有權(quán)終止合同。但采購人仍應(yīng)向中標(biāo)人繳付以上規(guī)定之罰款，不得推諉或延遲。 4. ★技術(shù)服務(wù)及其它： 4.1技術(shù)文件：中標(biāo)人應(yīng)提供全套、完整的書面技術(shù)資料，包括設(shè)備說明書、操作手冊、簡單維修說明、結(jié)構(gòu)圖及電路總框圖等。 4.2 設(shè)備安裝、調(diào)試和驗收：中標(biāo)人在合同生效后的1個月內(nèi)向采購人提供詳細的安裝要求并提供技術(shù)咨詢；在設(shè)備到達前1個月，中標(biāo)人應(yīng)通知采購人水、電、氣及其他設(shè)備必備輔助設(shè)施的具體要求，從而讓采購人提前做好設(shè)備安裝準(zhǔn)備。設(shè)備到達采購人所在地，在接到采購人通知后一周內(nèi)進行安裝調(diào)試，直至通過驗收。 4.4技術(shù)培訓(xùn)：在采購人所在地對設(shè)備使用者2-3人進行設(shè)備操作和維護進行培訓(xùn)，使被培訓(xùn)人員達到能夠熟練使用。培訓(xùn)內(nèi)容包括設(shè)備的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護等。 4.5保修期：中標(biāo)人提供1年的免費整機保修,保修期自設(shè)備驗收簽字之日起計算。 4.6維修響應(yīng)時間：在保修期內(nèi)，中標(biāo)人工程師在收到采購人的維修服務(wù)要求后4小時內(nèi)做出回應(yīng)，48小時內(nèi)到達用戶現(xiàn)場進行維修，除需進口設(shè)備配件外，應(yīng)使設(shè)備恢復(fù)正常使用。 4.7維修服務(wù)：設(shè)備驗收后20年內(nèi)，中標(biāo)人提供設(shè)備維修服務(wù)。 4.8軟件升級：中標(biāo)人免費向采購人提供在硬件許可條件下的軟件升級服務(wù)。

六、采用單一來源采購方式的原因及相關(guān)說明：

碳化硅外延生長設(shè)備主要參數(shù)要求：(1) 單片外延生長設(shè)備，托盤尺寸兼容4英寸和6英寸；（2）具有1次生長100μm厚的SiC外延層的生長能力,其標(biāo)準(zhǔn)生長速率不低于30μm/小時，高速生長速率不低于60μm/小時；（3）背景摻雜濃度不超過1E14cm-3, n型摻雜濃度從1E15～1E19 cm-3可控；(4) 6英寸片內(nèi)厚度均勻性小于1%，濃度均勻性小于7%（均勻性=δ/均值*100%, 33 點, 距邊5mm，濃度在5E15cm-3左右）；（5）外延膜表面缺陷：厚度為0～50μm 時不高于1/㎝2, 厚度51～100μm時不高于1.5/㎝2；（6）表面粗糙度：厚度≤30μm時不高于0.3nm；厚度31～50μm時不高于0.5nm；厚度51～100μm時不高于0.8nm。目前能夠滿足上述要求的并且設(shè)備可靠性高、穩(wěn)定性好的設(shè)備只有意大利LPE公司生產(chǎn)的PE1O6型碳化硅外延設(shè)備，該設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性能夠滿足采購人的需求。目前在國內(nèi)只有洛佩詩（上海）國際貿(mào)易有限公司代理此設(shè)備。基于以上考慮，根據(jù)《政府采購法》第三十一條符合下列情形之一的貨物或者服務(wù)，可以依照本法采用單一來源方式采購：（一）只能從唯一供應(yīng)商處采購的。本項目擬采用單一來源采購方式，現(xiàn)根據(jù)相關(guān)法律法規(guī)的要求，進行單一來源采購征求意見公示。

七、擬定的唯一供應(yīng)商名稱、地址：

八、專家論證意見：

（一）各專家對相關(guān)供應(yīng)商因?qū)＠?、專有技術(shù)等原因具有唯一性的具體論證意見，專家的姓名、工作單位和職稱：

專家1：張峰、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所，職稱：研究員；專家2：郝維昌、北京航天航空大學(xué)，職稱：教授；專家3：劉泉林、北京科技大學(xué)，職稱：教授。論證委員會一致認為洛佩詩（上海）國際貿(mào)易有限公司作為碳化硅外延生長設(shè)備的唯一供應(yīng)商。

（二）專家小組綜合意見：

論證委員會一致認為洛佩詩（上海）國際貿(mào)易有限公司作為碳化硅外延生長設(shè)備的唯一供應(yīng)商。

九、本公示期限（不得少于5個工作日）自2019 年 06 月 03 日 至 2019 年 06 月 11 日 止。

十、聯(lián)系事項

發(fā)布人：東莞市粵隆招標(biāo)有限公司