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松山湖材料實(shí)驗(yàn)室等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）(采購(gòu)方式意見(jiàn)征集公告)單一來(lái)源公示
發(fā)布機(jī)構(gòu)： 東莞市粵隆招標(biāo)有限公司
采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)： 441900-201812-0099990033-0009 采購(gòu)品目：其他貨物 預(yù)算金額： 2,850,000.00 元
代理機(jī)構(gòu)：東莞市粵隆招標(biāo)有限公司 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：葉振華 項(xiàng)目經(jīng)辦人：翟潤(rùn)膺
一、采購(gòu)人：松山湖材料實(shí)驗(yàn)室
二、采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)：441900-201812-0099990033-0009
三、采購(gòu)項(xiàng)目名稱：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）
四、采購(gòu)項(xiàng)目預(yù)算金額（元）：2,850,000.00 元
五、擬采購(gòu)的貨物或者服務(wù)的說(shuō)明
一、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）和低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD）一體設(shè)備的技術(shù)要求 1. ★管數(shù)：PECVD 2管,LPCVD 2管；PECVD與LPCVD集成于同一個(gè)臺(tái)設(shè)備， 2. 裝片規(guī)格：156mm方片，最大兼容168mm方片；（厚度150~210μm）； 3. 單管裝片量：PECVD≥416片/批；LPCVD≥800片/批； 4. 成膜類型：PECVD 氮化硅，LPCVD 多晶硅、摻雜多晶硅、SiOx； 5. ★成膜厚均勻性：PECVD 片內(nèi)≤3％、片間≤3％、批間≤2％； LPCVD片內(nèi)≤5％、片間≤5％、批間≤3％； 6. ★PECVD成膜折射率均勻性：片內(nèi)≤1.5％、片間≤1.5％、批間≤1.5％ ； 7. ★控溫范圍： PECVD：350～580℃，LPCVD：400～1000℃； 8. ★長(zhǎng)期使用溫度范圍：PECVD：400～550℃，LPCVD：550～650℃； 9. ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：±2℃/1600mm(450℃時(shí))，±1℃/1600mm(650℃時(shí))； 10. ★單點(diǎn)穩(wěn)定性：±1℃/4h(450℃時(shí))； 11. 升溫速率：RT→400℃≤25min； 12. ★控壓范圍：220 Pa±40 Pa（閉環(huán)控制）； 13. ★極限真空度：≤1 Pa； 14. 恢復(fù)真空時(shí)間：AP→3 Pa＜3min； 15. ★漏氣率指標(biāo)：＜1Pa /min； 16. 管路特性和連接方式：316L電化學(xué)內(nèi)拋光管道、全VCR焊接； 17. ★氣密性：漏率≤1×10-7pa.m3/s； 18. 水平推舟速度：1～10000mm/min 連續(xù)可調(diào)； 19. ★設(shè)備尺寸：長(zhǎng)度≤8000mm，寬度≤2200mm，高度≤2750 mm；二、商務(wù)要求 1. ★完工期：合同簽訂后90天內(nèi)交貨安裝調(diào)試完成。 2. ★付款方式： 1）合同簽訂并遞交設(shè)備清單后15個(gè)工作日內(nèi)支付25%貨款； 2）設(shè)備到貨后經(jīng)采購(gòu)人確認(rèn)，支付15%貨款； 3）設(shè)備安裝調(diào)試后經(jīng)采購(gòu)人驗(yàn)收合格，辦理完驗(yàn)收手續(xù)后15個(gè)工作日內(nèi)一次性向中標(biāo)人支付中標(biāo)價(jià)的50%貨款。 3. 質(zhì)保要求：整機(jī)保修一年，質(zhì)保期滿后支付10%質(zhì)?？?； 4. 售后服務(wù)：能夠提供國(guó)內(nèi)售后服務(wù)，兩個(gè)工作日內(nèi)響應(yīng),五個(gè)工作日提出解決方案，如果采購(gòu)人需要，可派遣技術(shù)支持工程師到現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo)、配合工作。
六、采用單一來(lái)源采購(gòu)方式的原因及相關(guān)說(shuō)明：
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積（PECVD）和低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD）一體設(shè)備主要用于高效太陽(yáng)能電池的研究，該設(shè)備能夠完成PERC電池正膜和背膜的鍍膜工藝，能完成TOPcon電池的SiOx/polySi薄膜工藝。目前中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所是國(guó)內(nèi)唯一一家能夠同時(shí)在PERC電池和TOPcon電池領(lǐng)域具有成熟設(shè)備投入市場(chǎng)或者通過(guò)工藝驗(yàn)證的設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)。基于以上考慮，根據(jù)《政府采購(gòu)法》第三十一條符合下列情形之一的貨物或者服務(wù)，可以依照本法采用單一來(lái)源方式采購(gòu)：（一）只能從唯一供應(yīng)商處采購(gòu)的。本項(xiàng)目擬采用單一來(lái)源采購(gòu)方式，現(xiàn)根據(jù)相關(guān)法律法規(guī)的要求，進(jìn)行單一來(lái)源采購(gòu)征求意見(jiàn)公示。
七、擬定的唯一供應(yīng)商名稱、地址：
中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所、地址：湖南省長(zhǎng)沙市天心區(qū)新開(kāi)鋪路1025號(hào)
八、專家論證意見(jiàn)：
（一）各專家對(duì)相關(guān)供應(yīng)商因?qū)＠?、專有技術(shù)等原因具有唯一性的具體論證意見(jiàn)，專家的姓名、工作單位和職稱：
1.專家1：姓名：王立莉，工作單位：清華大學(xué)，職稱：副研究員意見(jiàn)：論證委員會(huì)一致認(rèn)為中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）的唯一供應(yīng)商。
2.專家2：姓名：薛春來(lái)，工作單位：中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所，職稱：研究員，意見(jiàn)：論證委員會(huì)一致認(rèn)為中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）的唯一供應(yīng)商。
3.專家3：姓名：成步文，工作單位：中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所，職稱：研究員，意見(jiàn)：論證委員會(huì)一致認(rèn)為中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）的唯一供應(yīng)商。
（二）專家小組綜合意見(jiàn)：
論證委員會(huì)一致認(rèn)為中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD）的唯一供應(yīng)商。
九、本公示期限（不得少于5個(gè)工作日）自2018 年 12 月 25 日 至 2019 年 01 月 02 日 止。
十、聯(lián)系事項(xiàng)
| （一）采購(gòu)項(xiàng)目聯(lián)系人（代理機(jī)構(gòu)）：陳小姐 |
聯(lián)系電話：0769-89136773 |
| 采購(gòu)項(xiàng)目聯(lián)系人（采購(gòu)人）：陳工 |
聯(lián)系電話：0769-89136773 |
| （二）采購(gòu)代理機(jī)構(gòu) ：東莞市粵隆招標(biāo)有限公司 |
地址：廣東省東莞市南城街道體育路2號(hào)鴻禧中心B902號(hào) |
| 聯(lián)系人：葉振華 |
聯(lián)系電話：0769-88839111 |
| 傳真：0769-81216222 |
郵編：523000 |
| （三）采購(gòu)人：松山湖材料實(shí)驗(yàn)室 |
地址：東莞市松山湖大學(xué)創(chuàng)新城A1棟 |
| 聯(lián)系人：陳小姐 |
聯(lián)系電話：0769-89136773 |
| 傳真：0769-89136773 |
郵編：523000 |
| （四）財(cái)政部門(mén)：政府采購(gòu)監(jiān)管科 |
地址：東莞市南城鴻福路99號(hào) |
| 聯(lián)系人：政府采購(gòu)監(jiān)管科 |
聯(lián)系電話：0769-22831131 |
發(fā)布人：東莞市粵隆招標(biāo)有限公司
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